Tashatov, A. Q.; Normurodov , D. A.; Baxadirov , I. I. BARIY IONLARI BILAN IMPLANTATSIYA QILINGAN SiO2 NING ELEKTRON-ZONA PARAMETRLARINI TADQIQ ETISH: UO‘K: 533.537. https://innotex-journal.uz/ 2025, 56, 69-75.